光伏新能源硅片是以硅材料制成的鏡面狀硅片，是半導體集成電路芯片生產(chǎn)的原材料。實(shí)驗室凈化無(wú)菌試驗室-潔凈實(shí)驗室-生物安全實(shí)驗室的建設方案包括：建筑布局和裝修、空氣調節、給排水、氣體供應、電氣設計、集中控制、安防、施工工藝、檢測、培訓等多方面內容。目前，隨著(zhù)微電子工業(yè)的快速發(fā)展，集成電路技術(shù)已進(jìn)入不到0.18微米的時(shí)代，極大地刺激了新型光伏能源硅片的發(fā)展。同時(shí)，對新型光伏能源硅片性能參數的要求也得到了很大的提高。因此，新型光伏能源硅片的發(fā)展前景十分樂(lè )觀(guān)。
光伏新能源硅波形的生產(chǎn)工藝
光電新能源硅片生產(chǎn)包括兩個(gè)主要部分：硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能硅片生產(chǎn)，分為以下幾個(gè)主要過(guò)程：
單晶棒生長(cháng) - 單晶棒切割和檢驗 - 外徑研磨 - 切片 - 倒角（圓邊） - 研磨/研磨片檢測 - 蝕刻（化學(xué)蝕刻，LP-CVD + AP-CVD等） - PTA熱處理 - 背部損傷處理 - 拋光（ML粗拋，ML精拋） - 清洗 - 質(zhì)量檢驗 - 清潔包裝
從單晶棒的生長(cháng)到外徑磨削再到硅單晶棒的生產(chǎn)過(guò)程，切片后的過(guò)程是光伏新能源硅片的生產(chǎn)工藝。以日本某硅片廠(chǎng)為例，介紹了光伏新能源硅片生產(chǎn)過(guò)程中空調凈化系統和自動(dòng)控制系統的設計方案。
每個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的環(huán)境控制要求
一家硅片廠(chǎng)生產(chǎn)4-6英寸光伏新能源硅片，年產(chǎn)量480萬(wàn)片。該公司的新型光伏能源硅片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成電路。
正文
二、空調凈化系統
空調凈化的設計與工藝的布置和生產(chǎn)工藝密切相關(guān)。工廠(chǎng)空調凈化系統的不同類(lèi)型和不同用途都有自己的特點(diǎn)。介紹了光伏新能源硅片生產(chǎn)工藝的空調凈化系統方案。
2.1 空調系統
1切片室，倒角室和研磨室僅具有溫度控制要求。風(fēng)冷式熱泵分體式空調（PAC）用于確保室溫要求。室內機放置在車(chē)間，使用風(fēng)道。層百葉風(fēng)口側供氣模式;室外單元放在屋頂上。切片室的風(fēng)量大，新鮮空氣由直接蒸發(fā)式熱泵式屋頂空調器S1-1和S1-2補充。車(chē)間具有防塵要求。風(fēng)冷式熱泵分體式空調器在回風(fēng)時(shí)具有中效過(guò)濾器（空氣塵埃計數效率：60％，1μm顆粒）。同樣的屋頂式空調需要兩級過(guò)濾器。
其原理圖見(jiàn)圖:
2爐房，BSD室只有溫控要求
采用空冷電加熱分體式空調(PAL)來(lái)保證室溫.室內單元放置在車(chē)間附近，空氣接收管安裝在空氣接收管附近。室外單元放在屋頂上。新鮮空氣來(lái)自鄰近潔凈室的正壓力。車(chē)間有防塵要求，空冷電加熱分體式空調回風(fēng)口設有中效過(guò)濾器(空氣粉塵計數效率：60%，適用于1米)。
客服