潔凈室(間) cleanroom
空氣懸浮粒子濃度受控并分級的房間。
注：房間也可理解為多個(gè)潔凈間等組成的區域。
輔 助 區 support area
潔凈間外有一定潔凈度要求，以保證潔凈間空氣潔凈度穩定性為主要目的，并為潔凈間做相應準 備、服務(wù)工作的區域。
緩沖區 buffer area
輔助區內與無(wú)潔凈度要求空問(wèn)的通行區域。其內可設某些功能區。
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