凈化工程潔凈技術(shù)是一個(gè)新興的科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，是跨學(xué)科、跨部門(mén)、跨學(xué)科的綜合性科技新分支。無(wú)塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級過(guò)濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。凈化車(chē)間優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。它與許多行業(yè)和學(xué)科密不可分，具有自己獨特的特點(diǎn)。我們必須學(xué)習和吸收各行業(yè)、各學(xué)科的成就、經(jīng)驗和優(yōu)勢。善于根據自身特點(diǎn)，充分發(fā)揮和積極調動(dòng)各領(lǐng)域的科技人員。
與其他高技術(shù)一樣，凈化工程技術(shù)的誕生和初步應用服務(wù)于軍事目的。在第二次世界大戰中，一些槍支、坦克、飛機等使用的儀器經(jīng)常失效。開(kāi)發(fā)商意識到儀器生產(chǎn)和裝配環(huán)境中的空氣中粒子是罪魁禍首，于是工業(yè)潔凈室誕生了。原來(lái)的工業(yè)清洗室比較簡(jiǎn)單。隨著(zhù)原子武器研究和生化武器研究的發(fā)展，高效空氣過(guò)濾器在20世紀40年代早期得到了成功的開(kāi)發(fā)和應用。20世紀60年代初，出現了單向流動(dòng)潔凈室，這些設備和技術(shù)的誕生成為潔凈技術(shù)發(fā)展的里程碑，為現代潔凈技術(shù)奠定了基礎。
潔凈工程原來(lái)的潔凈標準是由美國制定的，也是使用最廣泛的。單位是帝國制度。允許粒子的最大數量為每立方英尺空氣0.5微米粉塵。另一種是國際單位，是通常使用的對值，即每立方米空氣中允許的最大粒子數0.5μm塵埃粒子。
雖然現代工業(yè)潔凈室仍然使用懸浮顆粒物作為主要控制對象，但在某些過(guò)程中，還提出了對空氣中分子污染物的控制要求。因此，空氣凈化技術(shù)的關(guān)鍵設備也從單顆粒過(guò)濾器發(fā)展成可以吸收有害氣體物質(zhì)的化學(xué)過(guò)濾器。
微電子工業(yè)是現代工業(yè)潔凈室應用的代表。主要產(chǎn)品有大型集成電路和平板顯示器。半個(gè)多世紀以來(lái)，集成電路發(fā)展迅速。隨著(zhù)集成度的提高，構件的線(xiàn)寬不斷縮小。因此，氣溶膠顆粒的控制粒徑越來(lái)越小。一般認為控制粒徑應為線(xiàn)寬的1/10-1/3，但由于線(xiàn)寬越來(lái)越小，這一要求也很難滿(mǎn)足。微電子產(chǎn)品的快速發(fā)展對傳統潔凈技術(shù)提出了巨大挑戰，也促進(jìn)了現代潔凈技術(shù)的發(fā)展。工業(yè)潔凈室主要由空氣中的懸浮顆粒物控制，為精密機械和電子產(chǎn)品行業(yè)提供所需的生產(chǎn)環(huán)境。
20世紀60年代初是中國潔凈技術(shù)發(fā)展的開(kāi)端，大約比國外晚了十年。在中國，這是一個(gè)非常特殊和困難的時(shí)期。一方面，在經(jīng)歷了三年的自然災害和經(jīng)濟基礎薄弱之后，在科學(xué)和技術(shù)方面沒(méi)有與先進(jìn)國家直接接觸，也沒(méi)有必要的科學(xué)和技術(shù)數據、信息和樣本。在這些困難的條件下，中國的潔凈技術(shù)工人圍繞著(zhù)精密機械、航空儀器和電子工業(yè)的需要，開(kāi)始了自己的創(chuàng )業(yè)之旅。
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