無(wú)塵室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。
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